Автор: Доктор инж. Алексей В. Смирнов, главный конструктор НИИ Прецизионных Механизмов, автор 150+ патентов на позиционирующие системы. В мире прецизионного позиционирования, где цены на коммерческие XYZ-стенды начинаются от десятков тысяч евро, а разрешение в 50 нм обычно ассоциируется с пьезоэлектрическими приводами от Physik Instrumente или Aerotech, появился проект, который заставляет переосмыслить понятия "низкая стоимость" и "самостоятельная сборка". Речь идет об открытой платформе Micro Manipulator...

В прошлой статье я описал характеристики первого российского литографа на 350 нм, который уже построен и тестируется в Зеленограде. Но одновременно с этим первым литографом разрабатывается и следующий, на 130 нм. Его разработка и строительство опытного образца завершится в 2026-м году. Если первый литограф на 350 нм, по сути, является, скорее всего, переработкой белорусского литографа ЭМ-5884, то следующий литограф — это уже глубокая модернизация с добавлением новых источников излучения — лазеров с длинами волн 193 и 248 нм...