Технология интерферометрии представляет собой технологию измерения, основанную на принципе интерференции световых волн. В области современных прецизионных измерений многие измерительные задачи решаются с помощью интерференции. Для решения многих измерительных задач оптическая интерферометрия в настоящее время является единственным возможным методом. По сравнению с общей технологией измерения оптических изображений, интерферометрия имеет характеристики большого диапазона, высокой чувствительности и высокой точности...