На Припять вернулся хищник, которого не видели в Беларуси почти век
130 нм — сделано: Россия и Белоруссия создали опытный образец самого передового отечественного литографа
Зеленоградский нанотехнологический центр совместно с белорусским «Планаром» завершил разработку и изготовление опытного образца фотолитографической установки с проектными нормами 130 нм. Это самый передовой литограф, когда-либо созданный на территории России и союзного государства. Акт сдачи-приёмки третьего этапа ОКР подписан 7 августа 2026 года. Помимо самого степпера, изготовлены два опытных образца эксимерного лазера с длиной волны 193 нм, произведены фотошаблоны и тестовые структуры, собран стенд для контроля оптических характеристик, отработаны базовые технологические процессы...
Кто сделал объектив для российского фотолитографа?
Появление в прошлом году первого российского фотолитографа порадовало всех любителей отечественной микроэлектроники. Выпустил машину Зеленоградский нанотехнологический центр при поддержке минского холдинга «Планар», передовика ещё советской микроэлектроники. Фотолитограф является ключевым оборудованием полупроводниковых фабрик. Именно с помощью этой машины рисунок интегральных схем переносится световым излучением с фотошаблона на полупроводниковую пластину, покрытую светочувствительным материалом — фоторезистом...