SMEE (Shanghai Micro Electronics Equipment), китайский передовик в области разработки и производства фотолитографических машин, ключевого оборудования в полупроводниковом производстве, неспроста вот уже много лет находится в фокусе мирового интереса. Объясняется это просто: китайцы — единственные представители незападного мира, которые прямо сейчас производят фотолитографы, способные производить микросхемы по 90 нм техпроцессам. Причём делают они это уже несколько лет. Речь идёт о «сухих» машинах, работающих на эксимерных ArF (фторид криптона) лазерах...