В 1983 году немецкий учёный Герхард Месслер вместе с коллегой Дитером Хомом создал первый в мире кремниевый микрофон — прототип всех современных MEMS-микрофонов. Работа велась в стенах Bell Labs, где ранее изобрели транзистор и лазер. В 2003 году инженер Джон Нойманн-младший в Университете Карнеги-Меллон описал первую работающую конструкцию MEMS-динамика. Его прототип внутриушного телефона достиг уровня звукового давления около 80 дБ. В том же году Нойманн вместе с предпринимателем Кайханом Дж. Габриэлем основал компанию Akustica — первый стартап в области MEMS-акустики...