Фотолитография — метод получения определенного рисунка на поверхности материала, широко используемый в микроэлектронике. Фотолитограф — оборудование для получения определенного рисунка на поверхности материала, который широко используется в микроэлектронике и других видах микротехнологий, а также при производстве печатных плат и полупроводниковых приборов. В начале этого года Минпромторг заказал разработку и освоение производства литографических материалов для микроэлектронного производства, выделив на эти цели из бюджета 1,1 млрд руб...

Времена старой доброй контактной фотолитографии давно прошли. А ведь как всё было просто: прижали фотошаблон к полупроводниковой пластине, покрытой фоторезистом, и засветили соответствующий узор. Очень напоминает, как во времена моей молодости мы с помощью трафаретов штамповали буквы на комсомольские стенгазеты пропитанной краской губкой. И никаких тебе оптических систем и выравнивания в разных плоскостях. Но узоры интегральных схем переносились в масштабе один к одному, фотошаблоны и чипы на пластинах постоянно повреждались, да так, что выход годных чипов был гораздо меньше, чем негодных...