ЖЕЛЕЙНЫЙ МЕДВЕДЬ ВАЛЕРА МУЛЬТИК
EUV фотолитография — во многом российское изобретение. Каковы наши практические перспективы?
Необходимость создания собственной микроэлектроники, как передовой и независимой отрасли отечественной промышленности, в общем-то ни у кого сомнений не вызывает. Микроэлектроника — ключ практически ко всем другим отраслям. И действительно, микросхемы сейчас используются буквально везде: от ноутбуков и смартфонов до промышленных производственных линий и бытовой техники. Причём именно на изделия микроэлектроники приходится значительная часть прибавочной стоимости самой разной промышленной продукции...
В России появится свой передовой литограф для производства 10-нанометровых процессоров, но есть нюанс — ждать его придется долго
Институт физики микроструктур Российской академии наук подготовил дорожную карту по созданию отечественных установок экстремальной ультрафиолетовой литографии. Самая передовая система, позволяющая производить процессоры и однокристальные системы по техпроцессу 10 нм (и меньше), появится примерно через 10 лет. Российские литографы не будут похожи на литографы ASML. Так, в отечественных машинах планируется использовать совершенно иной набор технологий: гибридные твердотельные лазеры, источники света на основе ксеноновой плазмы и зеркала из рутения и бериллия...