Полупроводники имеют решающее значение в нашем мире. Наиболее важное применение - компьютеризированные электрические устройства или электрические устройства, работающие на радиоволнах. Эти полупроводники состоят из широко распространенного элемента кремния. Фактически, кремний лежит в основе почти всех видов электронных устройств. Одна из причин, почему они широко используются в полупроводниках, заключается в том, что они широко распространены в природе. Например, кремний в природе встречается в песке и кварце, который имеет идеальную электронную структуру...

Легирование бором и фосфором используется для многих применений в микроэлектронной промышленности, но до сих пор не было способа проверить однородность данного легирования без прямого контактна с образцами и изменения их свойств из-за необходимости в отжиге. Основная трудность заключалась в том, что легируемая область обычно находится на глубине всего лишь несколько мкм, а дозы самих элементов очень малы. Метод MDP позволяет исследовать такие легированные образцы с высоким разрешением и хорошим разграничением между различными легированными дозами...