Легирование бором и фосфором используется для многих применений в микроэлектронной промышленности, но до сих пор не было способа проверить однородность данного легирования без прямого контактна с образцами и изменения их свойств из-за необходимости в отжиге. Основная трудность заключалась в том, что легируемая область обычно находится на глубине всего лишь несколько мкм, а дозы самих элементов очень малы. Метод MDP позволяет исследовать такие легированные образцы с высоким разрешением и хорошим разграничением между различными легированными дозами...

Нам известны внутренний, внешний и ядерный фотоэффекты. Принято считать, что: - внутренний фотоэффект – перераспределение электронов по энергетическим состояниям в конденсированной среде (твёрдое тело, жидкость) под действием электромагнитного излучения. При этом, изменяется электропроводность среды или на её границах возникает электродвидущая сила (ЭДС); - внешний фотоэффект или фотоэлектронная эмиссия – вырывание электронов из вещества под действием электромагнитного излучения; - ядерный фотоэффект...