Молекулярно-лучевая эпитаксия (МЛЭ) – метод создания тонких монокристаллических слоёв и структур, наиболее широко применяемый для исследования механизмов эпитаксиального роста. Он состоит в использовании молекулярных пучков для доставки осаждаемого компонента к монокристал-лической подложке в сверхвысоком вакууме, в бесстолкновительном режиме. Это обеспечивается высоковакуумными условиями, и приводит к получению структур высокогокачества, а также позволяет применять широкий арсенал методов исследования поверхности...