«Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях» А. И. Мочалов, В. А. Галперин, Е. В. Данилкин В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики. Это и многое другое вы найдете в книге Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях (В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов). Напишите свою рецензию о книге А. И. Мочалов, В. А. Галперин, Е. В. Данилкин «Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях» https://izbe.ru/book/331685-processy-plazmennogo-travleniya-v-mikro-i-nanotehnologiyah-v-a-galperin-e-v-danilkin-a-i-mochalov/