«Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях» А. И. Мочалов, В. А. Галперин, Е. В. Данилкин В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики. Это и многое другое вы найдете в книге Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях (В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов). Напишите свою рецензию о книге А. И. Мочалов, В. А. Галперин, Е. В. Данилкин «Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях» https://izbe.ru/book/331685-processy-plazmennogo-travleniya-v-mikro-i-nanotehnologiyah-v-a-galperin-e-v-danilkin-a-i-mochalov/

«Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное посбие для вузов. Т.2» Акуленок М.В., Андреева В.М., Громов Д.Г Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне cамостоятельный интерес. Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и «сухого» травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологий микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники, микросистемной техники. Рассматриваются эпитаксиальные процессы, процессы вакуум-термического и ионно-плазменного осаждения, ионного, ионно-химического и плазмохимического травления, термического окисления, методы легирования термической диффузией и ионной имплантацией, а также процессы фотолитографии.Для студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся в области микро- и наноэлектроники, микроэлектромеханических систем, физики твердого тела, материаловедения. Книга может быть полезна инженерно-техническим работникам соответствующих областей. Это и многое другое вы найдете в книге Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное посбие для вузов. Т.2 (Акуленок М.В., Андреева В.М., Громов Д.Г). Напишите свою рецензию о книге Акуленок М.В., Андреева В.М., Громов Д.Г «Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное посбие для вузов. Т.2» https://izbe.ru/book/376020-vvedenie-v-processy-integralnyh-mikro-i-nanotehnologiy-uchebnoe-posbie-dlya-vuzov-t-2-akulenok-m-v-andreeva-v-m-gromov-d-g/