«Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное посбие для вузов. Т.2» Акуленок М.В., Андреева В.М., Громов Д.Г Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне cамостоятельный интерес. Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и «сухого» травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологий микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники, микросистемной техники. Рассматриваются эпитаксиальные процессы, процессы вакуум-термического и ионно-плазменного осаждения, ионного, ионно-химического и плазмохимического травления, термического окисления, методы легирования термической диффузией и ионной имплантацией, а также процессы фотолитографии.Для студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся в области микро- и наноэлектроники, микроэлектромеханических систем, физики твердого тела, материаловедения. Книга может быть полезна инженерно-техническим работникам соответствующих областей. Это и многое другое вы найдете в книге Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное посбие для вузов. Т.2 (Акуленок М.В., Андреева В.М., Громов Д.Г). Напишите свою рецензию о книге Акуленок М.В., Андреева В.М., Громов Д.Г «Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное посбие для вузов. Т.2» https://izbe.ru/book/376020-vvedenie-v-processy-integralnyh-mikro-i-nanotehnologiy-uchebnoe-posbie-dlya-vuzov-t-2-akulenok-m-v-andreeva-v-m-gromov-d-g/

«Введение в процессы интегральных микро - и нанотехнологий. В 2 томах. Том 1. Физико-химические основы технологии микроэлектроники» Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро - и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес. В первом томе основное внимание обращается на анализ физико-химических основ ключевых технологических процессов микроэлектроники, таких как гетерогенное фазообразование, перераспределение вещества при термической и нетермической активации процессов, фотохимическое воздействие различных излучений, полей и др. Взаимосвязь этих процессов на протяжении всего технологического цикла изготовления интегральных схем устанавливается путем рассмотрения проблем межфазного взаимодействия в неравновесных микрогетерогенных системах, совместимости контактирующих материалов, анализа критериев, позволяющих прогнозировать физико-химический характер взаимодействия с использованием диаграмм фазовых равновесий. Для студентов, изучающих технологию микроэлектроники и радиотехнических микроэлектронных устройств, аспирантов и специалистов. Это и многое другое вы найдете в книге Введение в процессы интегральных микро - и нанотехнологий. В 2 томах. Том 1. Физико-химические основы технологии микроэлектроники (Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова). Напишите свою рецензию о книге Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова «Введение в процессы интегральных микро - и нанотехнологий. В 2 томах. Том 1. Физико-химические основы технологии микроэлектроники» https://izbe.ru/book/331686-vvedenie-v-processy-integralnyh-mikro-i-nanotehnologiy-v-2-tomah-tom-1-fiziko-himicheskie-osnovy-tehnologii-mikroelektroniki-yu-d-chistyakov-yu-p-raynova/