РФЯЦ-ВНИИЭФ (Саров, Росатом) получил от Минпромторга второй за месяц контракт на полупроводниковое оборудование. ОКР с шифром «Спрей» предусматривает разработку автоматизированной установки спрейного жидкостного химического травления полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм. Сумма — 1,43 млрд рублей, единственный участник конкурса, срок — до 30 ноября 2029 года. Оборудование заменит американские системы Shellback Torrent / MERCURY+ и японскую Tokyo Electron ZETA+ 200. Отечественных аналогов не существует...