Создана сверхточная технология травления для индустрии полупроводников Команда разработчиков из компании Lam Research представила первую в отрасли технологию твердотельного плазменного травления. В основе технологии лежит метод точного управления плазмой — электрически заряженным состоянием вещества, которое используется при производстве полупроводников. DirectDrive обещает беспрецедентную...

Низкоплотные квантовые точки InGaAs/AlGaAs в нанодырах, полученных методом капельного травления За последние два десятка лет эпитаксиальные полупроводниковые квантовые точки продемонстрировали многообещающие свойства как источники одиночных и запутанных фотонов по запросу. Метод локального капельного травления позволил вырастить квантовые точки с низкой и контролируемой...