На современных производствах микроэлектромеханических систем (далее - МЭМС) повышение выхода готовой продукции является одной из приоритетных задач. Это достигается в первую очередь за счет непрерывного улучшения технологических и производственных процессов, влияющих на конечный продукт. Система управления качеством на уровне производственного процесса включает в себя следующие мероприятия: Межпроцессный мониторинг параметров продукции на ранних стадиях изготовления позволяет не только вовремя отбраковывать дефектные изделия, но и отправлять их на переработку...

Дефектоскопия - одно из важнейших направлений в инженерном деле и в технических науках. Любой дефект в любой системе, будь то просто конструкция или сложный микропроцессор, либо сразу отправляет изделие в ящик с надписью "брак", либо приводит к поломке в самый неподходящий момент. Не говоря уже о критических отказах, который могут привести к страшным последствиям. Недавние исследования привели к созданию нового уникального терагерцового датчика, который может обнаруживать скрытые дефекты и структуры в материалах...