Вообще-то после изобретения в 1958 году первой интегральной схемы американским инженером Джеком Килби добрых 15 лет в полупроводниковой промышленности шла битва не за нанометры (миллиардная часть метра), а за микроны (миллионная часть метра). И только в 1975 году японской компании Canon удалось выпустить фотолитограф FPA-141F, способный «печатать» чипы в субмикронном диапазоне (0,8 микрон = 800 нанометров). С той поры и до наших дней в мировой микроэлектронике не утихает битва за нанометры (с целью их уменьшения, конечно)...