Источник АО «Протон-Электротекс» Введение Управление рекомбинационными свойствами в слоях полупроводниковой структуры является одним из эффективных методов повышения быстродействия и улучшения ряда других важных характеристик силовых полупроводниковых приборов. В статье рассматриваются аспекты применения одной из таких технологий, основанной на облучении кремниевых структур ускоренными протонами. Описана автоматизированная технологическая линия для протонного облучения силовых полупроводниковых...