Современная наука для изучения поверхности низкоразмерных образцов использует микроскопы, в основе работы которых лежат различные физические процессы. В наиболее общем случае микроскопию подразделяют на три большие группы: оптическую, электронную и сканирующую зондовую. Первым микроскопом был оптический - тот самый, с которым большинство из нас имело возможность познакомиться на школьных уроках биологии. В основе работы оптического микроскопа лежат следующие физические процессы: дифракция, отражение...

В прошлой статье мы рассмотрели принцип работы оптического микроскопа и выяснили, что предельный размер (дифракционный предел) образцов, которые мы можем увидеть в такие микроскопы составляет порядка 200 нанометров. Этот предел обусловлен величиной длины волны используемого излучения. Во второй половине прошлого века стали очевидны перспективы развития таких направлений, как микро- и наноэлектроника. В связи с этим требовалось найти методы, позволяющие увеличить разрешающую способность микроскопов...