На современных производствах микроэлектромеханических систем (далее - МЭМС) повышение выхода готовой продукции является одной из приоритетных задач. Это достигается в первую очередь за счет непрерывного улучшения технологических и производственных процессов, влияющих на конечный продукт. Система управления качеством на уровне производственного процесса включает в себя следующие мероприятия: Межпроцессный мониторинг параметров продукции на ранних стадиях изготовления позволяет не только вовремя отбраковывать дефектные изделия, но и отправлять их на переработку...