Электронная микроскопия и рентгеновская спектроскопия в электронике Современная электронная промышленность — это мир нанометров, скрытых дефектов и сложных материалов. По мере уменьшения размеров кристаллов и переходов, повышения плотности компонентов и внедрения новых материалов (Cu/low-k металлизации, сложных интерметаллидов, барьерных покрытий, бессвинцовых припоев) возрастает роль лабораторных методов контроля. Электронная микроскопия (ЭМ) и рентгеновская спектроскопия (EDS/WDX) сегодня являются...