Определение концентрации хрома (CrB) в кремнии
Определение концентрации хрома очень важно, так как хром является одним из наиболее распространенных, а также наиболее вредных дефектов в кремнии. Следовательно, необходимо измерять плотность хрома как можно точнее и быстрее. Измеритель модели MDPmap может быть оснащен опциональным столиком с подогревом, что позволяет измерять концентрацию хрома в пластинах с высокой автоматизацией и разрешением. Измерение времени жизни до и после диссоциации пары бор-хром является широко используемым методом определения хрома в кремнии...