Оборудование для производства микрочипов создали российские ученые В России разработали первые отечественные кластерные установки плазмохимического травления и осаждения, рассказал Минпромторг. Станки нужны для создания микроэлектроники — ключевого компонента современной цифровой экономики. Речь идет о специализированных станках, способных работать с техпроцессом до 65 нанометров, что позволяет создавать чипы для смартфонов, серверов и промышленных систем. Эти машины предназначены для обработки кремниевых пластин диаметром до 300 мм — стандартного формата в полупроводниковой отрасли...