В статье представлен новый сухой метод микрофабрикации для чувствительных электронных материалов, использующий неорганические молекулы селена в качестве литографического медиатора. Данный подход позволяет формировать микроструктуры путем локализованной лазерной сублимации селена и последующего механического отслаивания, полностью исключая контакт с химическими растворителями, которые повреждают такие материалы, как перовскиты и черный фосфор. Метод демонстрирует высокую совместимость с промышленными...