В статье представлен новый прекурсор для фокусированного электронно-лучевого индуцированного осаждения (FEBID) — (η2 ┤фумаронитрил)(тетракарбонил)рутений(0), разработанный на основе механистического подхода с использованием исключительно нейтральных лигандов, слабо связанных с металлическим центром. В ходе экспериментов FEBID были получены осадки, содержание рутения в которых неизменно составляло всего 8–12 ат.%, что значительно ниже значений для других рутениевых прекурсоров. Авторы связывают низкое...