Статья написана по материалам международной технологической дорожной карты для полупроводников (IRDS™ 2023) и посвящена обзору технологии контроля концентрации частиц в ультрачистой воде. Автор: Смирнов Владимир, Якименко Светлана (АО «НПК МЕДИАНА-ФИЛЬТР») Эволюция дизайна полупроводниковых устройств от Planar FET (планарные) до FinFET1 позволила продолжить развитие технологического узла до шага 24 нм к 2022 году. Ширина канала при этом составляет 6 нм: она определяет размер «частиц-убийц» модуля FIN, равный 3 нм...
Фильтры механических частиц. Трудно переоценить роль таких фильтров в процессах водоочистки и водоподготовки. Они используются буквально повсеместно. Во всех областях промышленности, энергетики, ЖКХ, на водоканалах и в частных домовладениях. Чистят питьевую и технологическую воду, топливо, различные растворы, эмульсии и так далее. Названий у них может быть много («фильтры грубой очистки», «механические фильтры», «грязевики», но суть, при этом, остаётся одна - удаление из воды (или другой жидкости) взвешенных твёрдых веществ (или "SS" по международной классификации)...