Зеленоградский нанотехнологический центр разработает первый в России промышленный сканирующий электронный микроскоп класса CD-SEM для контроля производства микросхем. На проект выделили 2,37 млрд рублей, работы должны завершиться к 30 июня 2030 года. Ещё по теме: Сообщает iXBT, контракт Минпромторга с ЗНТЦ заключён в рамках опытно-конструкторской работы «Инспектор». Опытный образец собираются адаптировать под 200-миллиметровые пластины, а комплекс рассчитан на контроль пластин диаметром 100, 150 и 200 мм...