На разработку выделено более 2,37 млрд рублей Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) займется разработкой первого в России промышленного сканирующего электронного микроскопа класса CD-SEM, предназначенного для контроля производства микросхем. Как сообщает CNews, Минпромторг уже заключил с центром контракт стоимостью 2,37 млрд рублей. Работы будут вестись в рамках опытно-конструкторской разработки «Инспектор» и должны завершиться к 30 июня 2030 года. Будущий CD-SEM предназначен для неразрушающего контроля полупроводниковых пластин диаметром 100, 150 и 200 мм...