При изготовлении изделий микроэлектроники центрифугирование является наиболее простым и многофункциональным методом поштучной жидкостной обработки образцов. Особенности данного метода заключаются в его универсальности, низкой стоимости оборудования и большом количестве различных вариантов обработки, реализуемых на одной установке — благодаря ее конструкции и большому набору возможных опций. Основное применение метод жидкостной обработки находит в процессе фотолитографии, а также в качестве различных межоперационных стадий...