Термическая диффузия и ионная имплантация — одни из ключевых этапов полупроводникового производства. Несмотря на разные названия, служат они выполнению одной задачи: легирование кремния (или других полупроводниковых материалов). Легирование — процесс добавления примесей в состав материалов с целью изменения их физических и химических свойств (их улучшению применительно к поставленной задаче). В полупроводниковом производстве речь идёт прежде всего об изменении проводимости. Для этого берётся кристалл...