НИИТМ поставил «Эписэнд ТМ» для сверхтолстого поликремния
Научно-исследовательский институт точной механики изготовил и передал заказчику установку «Эписэнд ТМ». Оборудование рассчитано на нанесение сверхтолстых слоёв поликристаллического кремния из твёрдого источника. За один цикл система может обрабатывать до четырёх пластин диаметром 100 мм. Факт поставки важнее очередной демонстрации опытного образца: разработка покинула площадку НИИТМ и направлена конкретному заказчику. Однако название предприятия-получателя, результаты приёмочных испытаний и планы по выпуску следующих установок пока не раскрыты...