Полировка кремниевой пластины — операция, которая не попадает в заголовки. Литографы ASML обсуждают аналитики, политики и президенты. Установки травления и осаждения фигурируют в санкционных списках. А полировка — скучно, незаметно, банально. Между тем без неё литограф не сформирует рисунок: если поверхность пластины неровная хотя бы на десятки нанометров, фокус оптической системы «плывёт», и элементы микросхемы получаются размытыми. Чем тоньше техпроцесс, тем жёстче требования к плоскостности. Китайская...