Любой интресующийся фотолитографами, хорошо знает эти две аббревиатуры: EUV (Extremal Ultraviolet = Экстремальный ультрафиолет) и DUV (Deep Ultraviolet = Глубокий ультрафиолет). Эти характеристики относятся к длине волны, которая в фотолитографии служит своего рода карандашом, рисующим узоры интегральной схемы на поверхности кремниевой пластины. Чем тоньше «карандаш», тем более тонкие схемы можно им нарисовать и тем большее число электронных компонентов в конечном итоге разместить на микрочипе. Фотолитографы...