📰 Бельгийцы обнаружили возможность ускорить производительность EUV-сканеров на ровном месте
Бельгийские ученые из компании Imec сделали неожиданное открытие, которое может значительно ускорить производительность EUV-сканеров. На этапе переноса изображения с маски на фоточувствительный слой кремниевой пластины, исследователи нашли способ улучшить процесс, который ранее не рассматривался. Хотя традиционно увеличение скорости достигается за счет повышения мощности излучения или чувствительности фоторезиста, эти методы имеют свои ограничения...