В России не существует стандартов оборудования для производства микроэлектроники. Когда из-за санкций поставки иностранного оборудования для производства микроэлектроники осложнилось, начались масштабные проекты по создания отечественных установок. Наличие стандартов позволит сократить стоимость и сроки разработок такого оборудования. Подробнее на CNews.ru