118,5 тыс подписчиков

В Зеленограде советский синхротрон восстановят для создания микроэлектроники

Институт ядерной физики им. Г. И. Будкера планирует восстановить технологический накопительный комплекс (синхротрон), построенный в Зеленограде в 90-е годы. Использовать ТНК планируют для разработки отечественных литографов для печати микросхем. Директор института Павел Логачев пояснил, что комплекс станет основным оборудованием для создания, испытания и отлаживания технологии литографов.

Накопительный комплекс в Зеленограде был готов к работе в 1991 году. Но из-за распада советского государства так и не был запущен. Восстановить оборудование ученые планируют за 3 года. Инвестиции в проект составят около 500 млн рублей. Создание полностью нового такого комплекса стоило бы существенно дороже — 10 млрд рублей. Финансируют проект Минпромторг России, Курчатовский институт и правительство Москвы.

Также специалисты ИЯФ и НИИ точного машиностроения в Зеленограде уже начали работы по созданию промышленного ионного ускорителя для имплантора. Эта установка используется для введения в пластину полупроводника необходимых химических элементов. Опытный образец ускорителя также планируют создать за 3 года.

«Мы ставим задачу создать все необходимые средства разработки, подставить плечо нашим электронным компаниям, государственным институтам для того, чтобы сделать полностью отечественное оборудование для микроэлектроники», — сказал Павел Логачев в интервью «ТАСС.Наука».