Ученые Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого (СПбПУ) создали две установки, которые позволят «решить вопрос технологического суверенитета России в этом направлении в сфере микроэлектроники». Это установка безмасочной нанолитографии и установка плазмохимического травления кремния.