14,8 тыс подписчиков
Как мы уже писали, в России создается не один вариант литографа для производства отечественных микрочипов, а несколько. Направление для нашей страны критически важное и совершенно понятно, почему было принято решение параллельно развивать сразу несколько проектов, - чтобы хотя бы один из них показал свою дееспособность. К тому же, так можно будет выбрать лучший вариант.
! Уважаемые ученые, если вы имеете отношение к данному проекту - просим связаться с нами. Мы бы хотели приехать к вам и подготовить сюжет о вашем литографе. !
Ученые научного центра "Передовые цифровые технологии" СПбПУ отчитались о создании первого Российского Нанолитографа для производства микрочипов на полностью отечественном оборудовании.
Первая часть комплекса – установка безмасочной нанолитографии для получения изображения на подложке без использования шаблона (маски).
По оценкам ученых, такая отечественная установка будет стоить примерно 5 млн. в отличие от 10-13 млрд. ₽ за иностранную.
Устройство полностью автоматизировано, софт свой.
Второй элемент комплекса – установка плазмохимического травления кремния по созданному на первом шаге рисунку. Кроме формирования наноструктур, на этой установке можно создавать кремниевые мембраны, которые будут использоваться в судовых датчиках избыточного давления.
"Созданные на установке плазмохимического травления мембраны превосходят по надежности и чувствительности изготовленные методами жидкостного или лазерного травления.", – отметил руководитель научной группы Артем Осипов.
"В радиолокационном оборудовании возможно увеличение срока службы приборов более чем в 20 раз. А применение технологии при производстве солнечных панелей позволяет уменьшить их вес и габариты, дает возможность работы в пасмурную погоду при сохранении КПД".
По данным РИА, в планах специалистов СПбПУ – внедрить машинное обучение на обе установки, а также продолжить создание технологий и для силовой электроники.
1 минута
3 октября 2023
331 читали