Экономика11 подписчиковПодписатьсяСверхжёсткий ультрафиолет (EUV) в полупроводниковой литографии: сложно, долго, дорого — и необходимо / Offсянкаhttps://3dnews.ru/1074772/sverhgyostkiy-ultrafiolet-euv-v-poluprovodnikovoy-litografiiСверхжёсткий ультрафиолет (EUV) в полупроводниковой литографии: сложно, долго, дорого — и необходимо3dnews.ruОколо минуты1 октября 2022