На днях, в июне 2026 года, в «РГ» взяли интервью у замглавы минпромторга Василия Шпака. Что из него следует?
По литографам ничего нового. Была завершена разработка установки на 350 нм и ведется изготовление серийных машин. Подписаны контракты на поставку двух машин заказчикам.
Мы не стали жалеть опытный образец. Наши технологи с фабрик испытывали его точно так же, как если бы принимали импортное оборудование. Никаких скидок на то, что это «первенец», не было.
Именно такая жесткая и честная приемка позволила нам в сжатые сроки довести машину до ума. Главный итог: вместе с белорусскими партнерами мы вошли в пятерку стран в мире, владеющих технологиями такого уровня. Это серьезная заявка.
То есть, насколько я понимаю, на данный момент первый экземпляр литографа вроде бы как более-менее доведен до ума. Поставлен ли он уже заказчику или ещё нет — непонятно. Насколько можно было понять из предыдущих заявлений, есть два заказчика, каждый из которых берёт пока по одному экземпляру, на пробу, так сказать.
Про установку на 130 нм, которая согласно графику должна появиться к концу этого года — лазер для неё на 248 нм, созданный ещё осенью прошлого года, успешно прошел испытания.
По ключевым параметрам он вышел на уровень лучших мировых образцов. Поэтому к нему присматриваются китайские коллеги — они ищут альтернативу лазерам Gygaphoton и Cymer, поставки которых ограничены.
Между тем, согласно графику, в апреле этого года уже должен быть собран и пройти испытания прототип литографа на 130 нм. целиком, а в настоящее время уже должны вестись работы по разработке технологии литографии техпроцесса 130 нм. Шпаг про это не упомянул. Видимо, отстают от графика.
По поводу другого оборудования для литографии — В НИИМЭ и НИИТМ разработаны кластеры плазмо-химического травления и осаждения, работающие с пластинами 300 мм (замечу, что литографы на 350 и 130 нм проектируются для пластин 150 и 200 мм) и способные обеспечивать техпроцесс до 65 нм.
Эти кластеры решили сразу две задачи. Первая — появилась опытная платформа, на которой можно отрабатывать технологии для будущих 300-мм производств. Вторая — инженеры нашли и протестировали технические решения, которые теперь пойдут в оборудование и для пластин 150 и 200 мм. То есть мы подтянем качество и тех машин, на которых фабрики работают уже сейчас.
Про САПР'ы — для разработки стандартов САПР тоже предполагается кооперация с Беларусью:
Создать по-настоящему работающие стандарты можно только одним способом — собрать за одним столом разработчиков ПО, дизайн-центры, науку и производство. И участие белорусских коллег здесь более чем уместно. У нас уже сформировано сильное сообщество российских участников: МНТЦ МИЭТ, НИИМЭ, ИСП РАН, Микрон, Курчатовский институт, МФТИ, ИТМО и другие — всего более двадцати организаций. Это не формальный комитет, а центр компетенций, нацеленный на практически применимые стандарты: требования к инструментам, форматы данных, интерфейсы, стыковка САПР с производством и испытаниями.
Беларуси здесь есть что предложить. Школа разработки ПО, компетенции Парка высоких технологий, опыт таких предприятий, как Интеграл, Планар, Минский НИИ радиоматериалов. Мы видим потенциальными участниками и научные организации: БГУИР, БНТУ, БГУ, институты Академии наук.
То есть, я так понимаю, что тут ещё конь не валялся, и к непосредственному созданию полноценных САПР ещё никто не приступал. Так, отдельные модули. Но, по крайней мере, уже намерение такое есть, не в пример нулевым и десятым годам.
Про СВЧ и оптоэлектронику — идёт разработка линейки установок роста для формирования гетероструктур, а также установок для выращивания монокристаллов арсенида галлия и германия. У нас исторически сильная школа в СВЧ-электронике и оптоэлектронике на сложных гетероструктурах. Поэтому здесь мы не просто закрываем внутренние задачи, а видим устойчивый интерес и из-за рубежа.
Поэтому тут наша стратегия — предлагать комплекс: технология, оборудование, материалы, химия. Такой пакет интереснее и нам, и партнерам. Это уже не продажа «железа», а полноценное технологическое сотрудничество.
Всего по микроэлектронике объем новых разработок в 2026-м году значительный — 29 тематик по оборудованию, 52 по химии и материалам, 21 по отдельным модулям САПР.
Россия и Беларусь должны стремиться к тому, чтобы своими силами, на отечественных машинах, с отечественными материалами, химией и средствами проектирования создавать законченные маршруты, производственные участки или целиком фабрики. Причем эти производства должны быть компактными.
Создавать оборудование мы снова научились, отметил Шпак. Теперь наша задача — пойти по всему жизненному циклу: научится его продавать, обслуживать, модернизировать.
Заключение
Вообще, подробной технической информации в СМИ даётся очень мало. Кроме того, когда процесс только начинался, любой «чих» на фоне всеобщего равнодушия властей, даже просто элементарное Постановление Правительства, открывающее хоть какие-то перспективы, воспринимался как прорыв.
Теперь же даже многочисленные реальные разработки, смысл которых большинству просто непонятен, хотя они являются кирпичиками к техническому суверенитету, уже не вызывают былой радости — хочется большего. Но это хороший признак. Стало быть, наработка базы стала достаточно масштабной, чтобы не замечать отдельные её детали. Теперь ждём реальной работы технологических линий на 350 и 130 нм.
На сегодня всё. Ставьте нравлики, подписывайтесь на канал и делитесь своим мнением в комментариях. Также буду благодарен за ваши донаты! Удачи! :-)