В России впервые организовали производство особо чистого красного фосфора и оксихлорида фосфора. Эти вещества критически важны для выпуска чипов, транзисторов, диодов и интегральных схем на фабриках микроэлектроники. Раньше их импортировали — доля зарубежных поставок превышала 80 процентов.
Проект реализовали предприятия Научного дивизиона «Росатома» — АО «Росатом Наука», НИИ НПО «ЛУЧ» и «Гиредмет» — в рамках программы Минпромторга «Развитие электронного машиностроения до 2030 года». На это ушло около двух с половиной лет.
Технологическую документацию подготовили специалисты «Гиредмета». Производственный участок с технологической линией организовали на площадке НИИ НПО «ЛУЧ» в Подольске и запустили в 2025 году. Соединения фосфора вредны для человека, поэтому процесс максимально автоматизировали.
В качестве сырья используют технический красный фосфор. Из него получают трихлорид фосфора, подвергают многоступенчатой очистке и переводят в конечные продукты: оксихлорид фосфора, триметилфосфат и высокочистый красный фосфор. Товарный особо чистый красный фосфор — это гранулированный сыпучий материал, а оксихлорид фосфора и триметилфосфат производятся в жидкой форме.
Современные требования к чистоте красного фосфора для ионной имплантации — 99,9999 процента. Как отметил директор по научным госпрограммам АО «Росатом Наука» Иван Мазилин, производство красного фосфора такой чистоты в России организовано впервые.
Приёмка госконтракта подтвердила соответствие продукции высокой степени чистоты. Специалисты «Росатома» доказали, что могут выпускать востребованные материалы для отечественного рынка микроэлектроники. Сейчас в Научном дивизионе ожидают получения сертификата СТ-1 и готовят заявку на включение веществ в реестр отечественной промышленной продукции.
Как уточнили в Росатом, в дальнейшем особо чистый оксихлорид фосфора может найти применение в химическом синтезе, при производстве солнечных панелей, а также оптического волокна. Кроме того, в Научном дивизионе создан центр компетенций по продуктам на основе особо чистого фосфора, который способен решать новые научно-технические задачи и организовывать поставки разработанной продукции.
Канал "Сделано у нас" переехал в Дзен.Премиум. О причинах такого решения я писал здесь, и подписчиков в нашем Дзен-клубе становится всё больше! Подпишитесь, чтобы не пропускать лучшие новости о развитии России! И да, там включены комментарии :)