Гендиректор ЗНТЦ раскрыл детали совместной работы с белорусским «Планаром»
Производимые сейчас АО «Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗНТЦ) машины в основном связаны с переносом изображения на полупроводниковую пластину (такие установки называются «степпер»). Главным партнёром российской компании в производстве оборудования является ОАО «Планар» из Минска, рассказал гендиректор ЗНТЦ Анатолий Ковалев на научно-технической конференции «Электронное машиностроение 2026», которая проходит 16-17 июня в столице Беларуси. Участником мероприятия стал популяризатор отечественной электроники Максим Горшенин.
И понятно, что если бы не было 60-летнего опыта работы этой [белорусской] компании, то никакого опытного образца у нас бы не получилось. Это совершенно очевидно
Что касается машин, связанных с электронно-лучевой литографией, которые тоже разрабатывает и производит ЗНТЦ, то это уже внутрироссийская кооперация
Недавно ЗНТЦ доработали степпер с нормами 350 нм и сдали ОКР (опытно-конструкторские работы), добавил Ковалев
Сдавали тяжело, приехала вся отрасль, технологи, и смотрели, что это за чудо такое и заработает ли вообще оно. В принципе, оно заработало, хотя проблемы есть, и об этом знают и принимавшие, и коллеги. Надо отдать должное Минпромторгу, они разрешили нам эту машину оставить у себя. На её базе мы сейчас развиваем мини-полигон. Необходимости делать на ней серию нет, но выработать постановку технологий можно
На рынке степперов сейчас из-за санкций можно купить только машину, которая уже была в употреблении — например, Canon
Вы знаете, что китайские компании тоже занимаются разработкой в области фотолитографии. Они купили команду из ASML (фактически как футбольную). Десять человек сейчас в одной из китайских компаний делают эти самые степперы. И они не продают их никуда, потому что понимают, что эта машина целиком разработана для внутреннего рынка. И такой новый степпер с нормами 350 нм стоит 8,5 млн долларов. Новый степпер на 130 нм стоит 21 млн долларов
Созданием степперов на 130 нм ЗНТЦ занимается в партнерстве с российской компанией ЛАССАРД, которая разработала по техническому заданию от неё два типа лазеров — на 248 и 193 нм
Лазеры прошли приёмочные испытания, сейчас устанавливаются уже для испытаний в составе комплекса или машины
