Развитие производственных мощностей и отраслей промышленности приводит к повышению требований промышленной безопасности, в том числе в области газоаналитического контроля. Производство полупроводников и микроэлектронных компонентов — это зона повышенного риска.
Технологические процессы эпитаксии, химического осаждения из газовой фазы, атомно-слоевого осаждения и травления требуют использования высокотоксичных, пирофорных и взрывоопасных газов. В этих условиях система непрерывного газового мониторинга становится не просто элементом охраны труда, а критической инфраструктурой предприятия.
Выбор газоанализаторов для производства микроэлектроники
Промышленные газоанализаторы, разработанные для нефтегазовой или химической отраслей, оказываются неэффективны в технологических процессах микроэлектронных производств.
В микроэлектронике применяются «редкие» газы, которые не входят в стандартный перечень определяемых веществ большинства газоанализаторов. Низкая распространённость специализированного аналитического оборудования, способного обеспечить достоверный количественный анализ уникальных соединений (см. таблицу 1), приводит к существенному сокращению перечня доступных технических решений при формировании запросов предприятий.
Для контроля редких веществ разработаны газоанализаторы ГАНК-4, обеспечивающие:
- селективное определение целевых компонентов;
- стабильную работу в условиях изменяющихся параметров среды;
- непрерывный мониторинг концентраций в режиме реального времени.
Газоанализаторы воспроизводят функциональные возможности зарубежных аналогов Honeywell (MIDAS), RIKEN KEIKI (GD-70D) и Gastron (GTD-5000/5200).
1. Широкий спектр измеряемых веществ
Главное преимущество ГАНК-4 — способность измерять более 380 веществ, включая сложные для определения агрессивные и токсичные соединения. При этом система полностью независима от импортных поставок: все датчики и химические кассеты производятся на территории РФ. Обслуживание, калибровка и замена сенсоров также выполняются непосредственно на заводе-изготовителе в России, что гарантирует бесперебойную работу и отсутствие проблем с логистикой запчастей.
2. Оперативность и точность в сложных условиях
Стационарные газоанализаторы оснащены встроенным насосом для принудительного отбора пробы. Это важное преимущество для производств со сложной аэродинамикой помещений (например, чистых комнат или технических подэтажей). Принудительный отбор минимизирует время отклика системы и исключает образование «застойных зон», обеспечивая мгновенное выявление утечек.
3. Интеграция в АСУ ТП и автоматизация
Газоанализаторы предназначены для непрерывного автоматического контроля, встраиваются в системы управления и могут управлять внешними исполнительными устройствами за счет соответствующих интерфейсов:
- аналоговый выход 4–20 мА;
- цифровой интерфейс Modbus RTU;
- встроенная светозвуковая сигнализация и настраиваемые пороги срабатывания.
4. Соответствие нормативной базе Российской Федерации
Газоанализатор спроектирован под российские требования: выдаёт показания в мг/м³ и автоматически сигнализирует о превышении ПДК. Все модели серии внесены в Государственный реестр средств измерений РФ, что упрощает прохождение проверок надзорных органов.
Внедрение газоанализаторов ГАНК-4 на производствах микроэлектроники даёт возможность выстроить систему промышленной безопасности на базе российских технологий, исключив зависимость от импортных решений.
ООО «НПО «ПРИБОР» ГАНК» предлагает полный цикл опытно-промышленных испытаний газоаналитического оборудования
Специалисты компании подготовят техническое задание и подберут оборудование под запрос промышленного предприятия
📩 Контактные данные
🌐 САЙТ
📞 8 (800) 201-00-92
📧 gank4@gank4.ru
📍 г. Москва, ул. Ибрагимова, д. 31, к. 10