Гелиевый масс-спектрометрический течеискатель (далее течеискатель) - устройство задачей которого является контроль герметичности. Функционально течеискатель это масс-спектрометр настроенный на обнаружение гелия. Контроль герметичности гелиевым течеискателем, один из самых чувствительных методов контроля герметичности. Методы контроля герметичности описаны в т.ч. в ГОСТ 28517-90 "Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод течеискания. Общие требования". Применяется для контроля герметичности объектов предварительно заполненных или опрессованных гелием. Часто такой способ используют для контроля герметичности небольших объектов, например микросхем. Реже методом вакуумной камеры проверяют герметичность больших объектов. Для этого созданы вакуумные камеры объемом в десятки кубических метров. Контролируемый объект (объекты) помещается в вакуумную камеру. Затем камеру откачивают до высокого вакуума. Это необходимое условие для работы течеискателя. Вакуумные камеры размером до нес