Исполнитель работ будет определен по результатам конкурса. При этом созданием подобного оборудования у нас в стране (литограф на 350 и 130 нм) уже занимался «Зеленоградский нанотехнологический центр» совместно с белорусским «Планаром». При освоенной разработке литографа на 130 нм, не нужно создавать все оборудование заново. Нужно доработать уже имеющиеся элементы и технологии (заменить объективы, лазерные модули, систему управления), чтобы выжать из той же платформы разрешение в 90 нм.
В этом году в России начинается работа по созданию литографа, работающего с топологическими нормами 90 нм.
Исполнитель работ будет определен по результатам конкурса. При этом созданием подобного оборудования у нас в стране (литограф на 350 и 130 нм) уже занимался «Зеленоградский нанотехнологический центр» совместно с белорусским «Планаром».
При освоенной разработке литографа на 130 нм, не нужно создавать все оборудование заново. Нужно доработать уже имеющиеся элементы и технологии (заменить объективы, лазерные модули, систему управления), чтобы выжать из той же платформы разрешение в 90 нм.
