Когда говорят об импортозамещении в микроэлектронике, обычно вспоминают литографы и процессоры. Но между этапами производства чипов стоит оборудование, без которого вся линия теряет смысл. «Микрон» получил госзаказ на создание именно такой установки и 1,56 млрд рублей на её разработку.
Проблема, которую не видно снаружи
Микросхема — это десятки слоёв, нанесённых один поверх другого на кремниевую пластину. Каждый слой должен лечь точно поверх предыдущего: отклонение даже на несколько нанометров ведёт к браку. Контролировать это совмещение вручную невозможно — нужна специализированная измерительная установка.
Именно такое оборудование российские производители брали у американской KLA Tencor. Санкции закрыли этот канал. Теперь Минпромторг заказал отечественный аналог под шифром «Лучник», что буквально переводит название американской машины ARCHER 10 XT.
Задача на стыке трёх дисциплин
Новая установка должна работать с пластинами диаметром 150 и 200 мм при проектных нормах до 130 нм. Среди обязательных требований:
- оптическое сканирование меток совмещения через интерферометр;
- автоматическая выработка корректирующих данных для процесса экспонирования;
- пропускная способность от 75 пластин в час;
- полностью автономная работа в производственном режиме.
Независимый эксперт Алексей Бойко объясняет сложность задачи: речь о разработке на стыке прецизионной оптики, механики и электроники с добавлением специализированного программного обеспечения. Точность измерений — суб-нанометровая. Предметный столик должен перемещаться и контролироваться с нанометровой точностью. Способность работать с пластинами двух диаметров умножает всё это на дополнительный коэффициент сложности.
Эксперт Strategy Partners Анна Васильева выделяет отдельный вызов: система машинного зрения обязана за миллисекунды распознавать метки совмещения в условиях вибраций и температурных колебаний реального цеха, и делать это без оператора, в потоке.
Сроки под вопросом
Контракт предполагает завершение работ до июля 2029 года. Бойко называет этот срок рискованным: если разработка начинается с нуля без задела, уложиться в него будет крайне непросто. Васильева указывает на дополнительный фактор — стабильность поставок компонентов, которая в нынешних условиях не гарантирована.
Оптимизм вносит Александр Тимошенко из «Троичных технологий»: бюджет адекватен масштабу задачи, а главное «Микрон» сам будет пользоваться тем, что создаёт. Собственная линия на 200 мм позволит испытывать установку в боевых условиях прямо в процессе разработки. По мнению эксперта, это серьёзно повышает шансы на успех в заданные сроки.