Найти в Дзене
CoreMorrow_PiezoNanoMotion

Пьезовинтовая выравнивающая платформа ZT50N81K8, предназначенная для выравнивания кремниевых пластин.

1 мин
Пьезоэлектрическая винтовая нивелирная платформа ZT50N81K8 специально разработана для трехосевого нивелирования. Благодаря трем точкам линейного привода, платформа может регулироваться по углам θx, θy и подниматься по оси Z. Высокая точность позиционирования, большая несущая способность и работа от двигателя делают ее более удобной в использовании. Кроме того, благодаря высокой точности, высокой управляемости и практичности, она широко применяется в научных исследованиях, лазерных технологиях, промышленной автоматизации и других областях. Пьезоэлектрическая винтовая нивелирная платформа ZT50N81K8 имеет диаметр платформы 160 мм, диапазон линейного перемещения 3 мм, угол отклонения ±1,5°θx, θy, угловое разрешение 0,3 мкрад и усилие на подшипниках 2 кг, что обеспечивает превосходную долговременную стабильность и возможность непрерывного поддержания заданного положения даже при отключении питания. Также имеется функция самоблокировки при отключении питания. На рисунке ниже показана платфор
Оглавление

Пьезоэлектрическая винтовая нивелирная платформа ZT50N81K8 специально разработана для трехосевого нивелирования. Благодаря трем точкам линейного привода, платформа может регулироваться по углам θx, θy и подниматься по оси Z. Высокая точность позиционирования, большая несущая способность и работа от двигателя делают ее более удобной в использовании. Кроме того, благодаря высокой точности, высокой управляемости и практичности, она широко применяется в научных исследованиях, лазерных технологиях, промышленной автоматизации и других областях.

Пьезоэлектрическая винтовая нивелирная платформа ZT50N81K8 имеет диаметр платформы 160 мм, диапазон линейного перемещения 3 мм, угол отклонения ±1,5°θx, θy, угловое разрешение 0,3 мкрад и усилие на подшипниках 2 кг, что обеспечивает превосходную долговременную стабильность и возможность непрерывного поддержания заданного положения даже при отключении питания. Также имеется функция самоблокировки при отключении питания. На рисунке ниже показана платформа.

Характеристики

• Трехмерное отклонение

• Угловое разрешение менее 1 мкрад

• Самоблокировка при выключении питания

• Повышенная гибкость при работе с электроприводом

Применение

• Научные исследования

• Оптика

• Создание лабораторных систем

• Трехосевое выравнивание

• Выравнивание пластин

• Промышленность

Технические данные

-2

Выравнивание полупроводниковых изделий

Высокая точность, большой ход и многомерное перемещение делают платформу для выравнивания с помощью пьезоэлектрического винта ZT50N81K8 очень подходящей для выравнивания в полупроводниковой отрасли, например, для выравнивания пластин.

Рекомендуемые контроллеры

Для управления платформой для выравнивания с помощью пьезоэлектрического винта ZT50N81K8 можно использовать пьезоконтроллер CoreMorrow E53.C4K, работающий от источника питания 24 В постоянного тока. 4-канальная версия может управлять 4 пьезоэлектрическими винтами, переключая режимы с помощью цифрового сигнала. Контроллер может подключаться к пьезовинтам через сетевые порты, что делает его очень компактным и простым в интеграции.

-3

Для получения дополнительной информации подпишитесь на официальный аккаунт CoreMorrow в WeChat или свяжитесь с нами по телефону 0451-86268790, 17051647888 (идентификатор WeChat).