Благодаря углубленным исследованиям в области науки и техники, применение наноразмерного позиционирования в низкотемпературном вакууме и сильном магнитном поле все чаще находит применение в физике, химии и материаловедении. Низкотемпературный вакуумный немагнитный пьезоэлектрический подвижный столик представляет собой высокоточное позиционирующее оборудование, которое характеризуется высокой точностью, стабильностью и надежностью. Он обеспечивает точное позиционирование в условиях низких температур, вакуума и магнитного поля и широко используется в полупроводниковой обработке и детектировании.
XD106.XYZ60K
Пьезосканер CoreMorrow XD106.XYZ60K — это трехкоординатный пьезопозиционер, специально разработанный для работы в условиях сверхнизких температур, вакуума и немагнитной среды. Он обеспечивает трехкоординатное сканирование по осям XYZ, использует низкотемпературный пьезопривод, устойчивый к низким температурам до 4K, и имеет небольшие размеры — всего 39 мм x 39 мм x 35 мм. Благодаря центральному сквозному отверстию диаметром φ10 мм его очень легко интегрировать. Корпус изготовлен из легкого, низкотемпературного, немагнитного материала с использованием низкотемпературной витой пары проводов, что позволяет использовать его в условиях низких температур.
Характеристики
· Низкотемпературный режим 4K, вакуум, немагнитный, устойчивость к низким температурам до 4K
· Перемещение по осям XYZ
· Диапазон перемещения до 30 мкм/ось при 4K
· Разрешение до 2 нм
· Управление движением с разомкнутым контуром
· Высокая скорость отклика
Применение
· Обработка полупроводников
· Контроль качества полупроводниковых изделий
· Высокоточное тестирование и эксплуатация
· Другие вакуумные системы нано-управления без магнитных полей
Технические данные
Рекомендуемый контроллер
Компания CoreMorrow разработала и произвела широкий ассортимент пьезоконтроллеров, таких как модульные контроллеры, малогабаритные контроллеры, мощные контроллеры, промышленные контроллеры, интегрированные контроллеры и так далее. Подходящий пьезоконтроллер можно выбрать в зависимости от различных сценариев применения.
Пьезоконтроллер E00/E01
Пьезоконтроллер E00/E01 является модульным, вы можете выбрать сервомодуль или модуль связи с компьютером. Для управления трехкоординатным пьезосканером XD106.XYZ60K выберите E01.A3 или E01.C3, последний дополнительно оснащен функцией связи с компьютером.
Пьезоконтроллер E70.C3
Пьезоконтроллер E70 — это интегрированный пьезоконтроллер компактного размера с тремя выходными каналами, который может использоваться как для управления через компьютер, так и для аналогового управления. Он идеально подходит для управления трехкоординатным пьезосканером XD106.XYZ60K.
Для получения более подробной информации звоните по телефону 0451-86268790 или 17051647888 (WeChat ID)!