Высокоточный микрометр — это измерительный прибор с диапазоном измерения в микроны или миллиметры и точностью измерения на наноуровне, который может быть индуктивным, емкостным или лазерным. Он в основном используется для высокоточного измерения длины (глубины, высоты, толщины, диаметра, конусности), измерения вибрации, обнаружения микроперемещений и т. д. в аэрокосмической, авиационной, автомобильной промышленности, станкостроении, обработке оптических устройств, полупроводниковой промышленности и других областях промышленного измерения и контроля.
Сверхточный емкостный датчик малого объема CoreMorrow состоит из двух частей: емкостного зонда и блока управления. Емкостный зонд бесконтактный, имеет размеры Φ10 мм × 18,5 мм и может измерять малые перемещения в диапазоне 0–500 мкм с разрешением до 1,25 нм. Размер блока управления составляет всего 105 × 26 × 66 мм³, он имеет одноканальный выход, очень компактен и легко интегрируется, как показано на рисунке ниже.
Характеристики
• Диапазон измерения: 0~500 мкм
• Разрешение до 1,25 нм
• Бесконтактное измерение
• Компактный размер, простота интеграции
Типичные области применения
Преимущества емкостных датчиков
1. Хорошая стабильность. Значение емкости емкостного датчика обычно не зависит от материала электродов, что удобно при выборе материала для криогенных систем, а поскольку он выделяет мало тепла, это мало влияет на стабильность.
2. Простая конструкция. Емкостные датчики имеют простую конструкцию, что позволяет легко обеспечить высокую точность, и могут быть изготовлены в миниатюрном исполнении. Их можно использовать в особых условиях, таких как высокие и низкие температуры, сильные магнитные поля и другие агрессивные среды.
3. Хорошая динамическая характеристика. Электростатическое притяжение между пластинами очень мало, подвижная часть может быть очень маленькой и тонкой, поэтому собственная частота очень высока, время динамического отклика короткое, и он может работать на частоте в несколько мегагерц, что особенно подходит для динамических измерений.
4. Бесконтактное измерение. При использовании бесконтактного измерения можно уменьшить влияние шероховатости рабочей поверхности на результаты измерения.
Состав системы
Конденсаторный микрометр состоит из двух частей: емкостного датчика/измерительного зонда и модуля обработки и управления измерительным сигналом.
(1) Емкостный зонд/емкостный датчик
Емкостный датчик (конденсаторный зонд) имеет цилиндрическую форму и использует принцип параллельных пластин. При изменении расстояния между измеряемым объектом и емкостным датчиком это изменение расстояния преобразуется в соответствующее изменение емкости.
Принципиальная схема
Технические характеристики
Примечание: Доступен вариант с диапазоном измерения 1 мм.
(2) Модуль обработки и управления сигналом датчика
Модуль управления обработкой сигнала датчика специально разработан для работы с емкостными датчиками CoreMorrow, и его основная функция заключается в преобразовании сигнала смещения емкостного датчика в электрический сигнал. Он имеет небольшие размеры и компактную конструкцию, что делает его идеальным для различных применений, таких как лабораторные и промышленные задачи.
Технические данные
Кроме того, компания CoreMorrow предлагает модульный модуль управления обработкой сигналов емкостных датчиков — E09.CAP, который доступен в конфигурациях от 1 до 12 каналов, а также может быть адаптирован под индивидуальные потребности для большего количества измерительных каналов.
Для получения более подробной информации о модуле обработки сигналов емкостного датчика CoreMorrow E09.CAP, пожалуйста, свяжитесь с нами по телефонам 0451-86268790, 17051647888 (идентификатор WeChat)!