Сухой плёночный фоторезист LAMINAR E7700 — это негативный, водопроявляемый фоторезист для печатных плат, рассчитанный на внутренние слои и работу в гальванических ваннах. По сути, это рабочий «кожа‑щит» для меди. Он формирует рисунок, выдерживает травление и гальванику, а потом аккуратно снимается, не убивая медь и оборудование.
Что это за материал и какие есть типы
Серия LAMINAR E7700 включает три типичных толщины:
- LAMINAR E7712 — 29 ± 2 мкм.
- LAMINAR E7715 — 38 ± 2 мкм.
- LAMINAR E7720 — 49 ± 2 мкм.
Все варианты:
- до экспонирования имеют синий цвет,
- после экспонирования становятся тёмно‑синими, с хорошим контрастом для визуального контроля.
Области применения у всех трёх одинаковые:
- изготовление внутренних слоёв,
- тентинг‑метод (закрытие отверстий плёнкой перед травлением/гальваникой),
- позитивный метод в гальванических ваннах (гальваника по открытому рисунку).
Ключевые свойства серии:
- высокая пропускная способность (стойкость и скорость процессов);
- отличная адгезия к меди и хорошее разрешение рисунка;
- хорошие тентинговые свойства;
- лёгкое снятие мелкими фрагментами;
- широкое технологическое «окно» по каждому этапу;
- чёткий цветовой контраст после экспонирования.
Как правильно готовить и ламинировать
Для нормальной адгезии поверхность заготовки должна быть: чистой, сухой, без остатков воды, кислот и других загрязнений. Допустимы методы подготовки:
- механическая обработка,
- химическая подготовка,
- пемзовая щёточная зачистка или обработка оксидом алюминия Al₂O₃.
Рекомендованные параметры ламинирования:
Ручной ламинатор:
- температура валков: 100–120 °C;
- скорость: 1,0–3,0 м/мин;
- давление: 2,5–3,5 бар (35–50 psi);
- температура заготовки на выходе: 40–65 °C.
Автоматический ламинатор с обрезкой:
- температура валков: 90–120 °C;
- скорость: 1,0–3,0 м/мин;
- давление: 2,5–3,5 бар;
- температура заготовки на выходе: 40–60 °C;
- температура «прихвата»: 65–80 °C;
- давление «прихвата»: 3,0–5,0 бар;
- время ламинирования: 1–4 с.
Важно:
- валки и заготовки должны быть чистыми, иначе появятся микроотверстия из‑за грязи, крошек меди, стеклотекстолита и частиц резиста;
- сразу после ламинирования плёнка мягкая и легко повреждается, заготовки держат на подставках и дают остыть до комнатной температуры, не складывая «стопкой».
Заготовки без тентированных отверстий можно хранить до 7 дней до проявления в зоне жёлтого света.
Экспонирование и проявление: режимы без «магии»
Диапазон чувствительности LAMINAR E7700 — 320–380 нм, работать с ним нужно в жёлтом свете от ламинирования до конца проявления. Для стабильного разрешения линий и чистых стенок резиста рекомендуют:
- держать экспонирующую установку в чистоте, без пыли;
- использовать УФ‑лампу высокой интенсивности;
- выдерживать заготовки 10–15 минут перед экспонированием, чтобы они остыли;
- подобрать энергию экспонирования по клину Штоуффера ST‑21/ST‑41.
Типичные энергии экспонирования, мДж/см²:
- E7712: 15–40;
- E7715: 18–43;
- E7720: 20–50.
Проявление выполняется в водных растворах Na₂CO₃ или K₂CO₃:
- карбонат натрия: 0,7–1,0%, оптимально 0,85%;
- карбонат калия: 0,8–1,2%, оптимально 1,0%;
- температура рабочего раствора: 25–35 °C, оптимально 28–30 °C;
- брейк‑пойнт (точка проявления): 50–65%, оптимум 55%;
- давление в распылителе: 1,5–2,0 бар (оптимум 1,5–1,7 бар);
- температура промывной воды: 15–30 °C (оптимум 20–25 °C);
- жёсткость воды: 150–300 мг/л в пересчёте на CaCO₃.
Время проявления при 28 °C:
- E7712: ~27–35 с;
- E7715: ~36–44 с;
- E7720: ~50–58 с.
Насыщенность резистом в проявителе:
- при 3,2–4,0 mil·ft²/л (12–14 mil·ft²/галлон) раствор уже критически насыщен;
- ориентиры для замены: pH опускается до ~10,3 и время проявления растёт на 50% относительно свежего раствора.
При автоматической подаче свежего раствора рекомендуют держать загрузку 1–2 mil·ft²/л и pH 10,8–10,6.
Гальваника, травление и снятие
LAMINAR E7700:
- химически стоек в кислых и щелочных растворах травления;
- нормально работает в кислых гальванических ваннах: сульфат меди, Sn/Pb, блестящее кислое олово, сульфамат никеля, кислое золото.
Перед гальваникой рекомендуют цикл:
- горячая кислая очистка (50 °C, 5 мин);
- промывка 20–25 °C, 1 мин;
- микротравление (не менее 0,3 мкм Cu);
- промывка;
- кислая промывка 10% об., 1 мин;
- финальная промывка;
- гальваническое меднение.
Снятие (раздубливание) выполняется 2–5% растворами NaOH или KOH (погружной или конвейерный способ):
Для всех трёх типов (E7712, E7715, E7720):
- концентрация щёлочи: 2–5%;
- давление распыления: 1,0–3,0 кг/см²;
- температура: 40–60 °C;
- время снятия (при NaOH):
E7712: ~32–42 с;
E7715: ~51–66 с;
E7720: ~88–118 с.
Фактическое время зависит от концентрации, температуры, высоты осаждённого металла, давления, энергии экспонирования и выдержки перед снятием.
Практические нюансы, безопасность и хранение
Для структуры и выхода годных LAMINAR E7700 помогает сгладить ямы, вмятины и царапины меди благодаря хорошей адгезии и пластичности, что снижает риск обрывов, порезов и коротких замыканий при гальванике. Адгезию можно улучшить:
- предварительным нагревом заготовок;
- увеличением давления и температуры ламинирования;
- снижением скорости;
- выбором более толстого резиста.
Но чрезмерный нагрев/давление могут загнать резист в отверстия и истончить его по краю, разрушив тент.
Обслуживание:
- камеры проявки периодически моют: остатки резиста снимают 3–5% NaOH, накипь — разбавленной кислотой;
- при необходимости добавляют пеногаситель 0,1–0,5 мл/л.
Безопасность и хранение:
- избегать контакта кожи с неэкспонированным резистом, при попадании — мыть руки с мылом;
- ламинирование проводить при хорошей вентиляции — возможны пары;
- работать только в жёлтом свете;
- не использовать разделительные лавсановые/полиэтиленовые плёнки повторно;
- хранить при 5–20 °C и относительной влажности 50 ± 10%.
LAMINAR E7700 — удобный, технологичный и довольно «прощаюший ошибки» сухой плёночный фоторезист для промышленного производства плат. Есть понятные режимы, широкий допуск по процессу и полный цикл — от ламинирования до снятия — закрыты в одном семействе материалов.