Минпромторг разработал систему оценки оборудования для производства полупроводников, определяющую, какие установки можно считать отечественными. Проект постановления правительства появился на портале нормативных актов в ноябре 2025 года и предполагает вступление в силу с 1 января 2026 года.
Документ вносит изменения в постановление №719 от 2015 года «О подтверждении производства российской промышленной продукции». В реестр российских товаров включат литографы, установки для эпитаксиального выращивания полупроводниковых структур, оборудование для ионной имплантации, производства кремниевых слитков и термической обработки пластин.
Балльный марафон: как набрать статус российского
Система работает просто на бумаге и сложно в реальности. За использование отечественных компонентов производители получают баллы. Чем больше баллов — тем выше степень локализации.
Требования к литографам
Производители литографического оборудования могут заработать баллы за применение российских комплектующих:
- Источник излучения — 30 баллов;
- Катодный узел — 30 баллов;
- Объектив — 30 баллов;
- Оптический тракт — 30 баллов;
- Электронно-оптическая система — 30 баллов;
- Вакуумные насосы — 30 баллов;
- Модуль совмещения — 30 баллов;
- Источник высоковольтного питания — 30 баллов
Дополнительные баллы начисляются за российские электротехнические компоненты (10), каркас (10), центральный контроллер (20), устройства сопряжения (20), детектор электронов (10), механизмы загрузки-выгрузки (10) и перемещения пластин (20), источник бесперебойного питания (10).
Оборудование для выращивания кристаллов
Производители установок для создания полупроводниковых слитков получают баллы за:
- Тепловой узел — 30 баллов;
- Камеру — 20 баллов;
- Устройства нагрева — 20 баллов;
- Механизм вытягивания монокристалла — 20 баллов;
- Вакуумные насосы — 20 баллов;
- Газо-вакуумные системы — 20 баллов;
- Пневмосистемы — 20 баллов
Плюс баллы за российские материалы (20), системы контроля температуры (10), охлаждение (10), блоки питания (10), центральный контроллер (20), устройства сопряжения (20) и станину (10).
Эпитаксиальные установки
Для этого типа оборудования предусмотрены баллы за:
- Реактор или вакуумную камеру — 30 баллов;
- Приборы контроля процесса — 30 баллов;
- Вакуумные насосы — 30 баллов;
- Источники прекурсоров — 30 баллов;
- Центральный контроллер — 20 баллов;
- Механизм перемещения пластин — 20 баллов;
- Систему подачи газов — 10 баллов;
- Механизм загрузки-выгрузки — 10 баллов
Универсальные бонусы
Каждый тип оборудования получает дополнительно:
- 20 баллов за отработку базового технологического процесса
- 30 баллов за российское пользовательское и сервисное ПО
- 30 баллов за программное обеспечение нижнего уровня
Прогрессивная шкала: планка поднимается каждые три года
Требования ужесточаются поэтапно, заставляя производителей постоянно повышать уровень локализации.
Эпитаксиальное оборудование:
- 2026-2028 годы: минимум 130 баллов
- 2029-2031 годы: минимум 190 баллов
- С 2032 года: минимум 250 баллов
Литографическое оборудование:
- 2026-2028 годы: минимум 80 баллов
- 2029-2031 годы: минимум 160 баллов
- С 2032 года: минимум 170 баллов
Оборудование для выращивания слитков:
- 2026-2028 годы: минимум 90 баллов
- 2029-2032 годы: минимум 140 баллов
- С 2033 года: минимум 210 баллов
Обязательные требования: без вариантов
Помимо набора баллов, производители обязаны соблюдать жёсткие условия:
- Не быть подконтрольными иностранным компаниям;
- Иметь сервисный центр на территории ЕАЭС;
- Осуществлять сборку на территории союза;
- Устанавливать и отлаживать ПО локально;
- Проводить наладку и тестирование на месте
Эксперты в шоке: это практически невозможно
Алексей Бойко, независимый эксперт и автор Telegram-канала RUSmicro, не скрывает пессимизма:
«Выполнять эти требования существующей отрасли будет сложно, на грани возможного. По сути, это не пожелания к действующей индустрии, а дорожная карта по созданию новой отрасли практически с нуля — независимой технологической цепочки».
«Сомневаюсь в возможности российских производителей выполнить требования в установленные сроки, — продолжает эксперт. — Это чрезвычайно жёсткие условия. Для их соблюдения потребуются виртуозно скоординированные усилия государства, науки и промышленности плюс кадры, в наличии и доступности которых у меня огромные сомнения».
Проблемы номер один: нет базы
Бойко указывает на критические пробелы: в России отсутствует серийное производство многих необходимых узлов, нет гарантированного доступа к российским материалам требуемой чистоты, плюс хронический кадровый дефицит.
Критика усиливается
Александр Тимошенко, глава ООО «Троичные Технологии», видит главную угрозу в хроническом недофинансировании:
«Новые требования по локализации создают сложнейший вызов прежде всего из-за недостатка инвестиций и медленной модернизации существующих мощностей».
Отсутствие развитой сервисной сети в странах ЕАЭС и собственной кооперационной цепочки для критических компонентов — прецизионной оптики, вакуумных систем, специализированных контроллеров — делает быстрое наращивание баллов невозможным, предупреждает Тимошенко.
«Требование использовать российское ПО из единого реестра упирается в технологическое отставание и нехватку разработчиков, — добавляет он. — Выполнение новых правил требует не точечных мер, а масштабной госпрограммы по восстановлению всей технологической цепочки — от фундаментальной науки до серийного производства комплектующих».
Есть и оптимисты
Яков Петренко, руководитель департамента электронного машиностроения МНТЦ МИЭТ, настроен конструктивнее:
«Текущий проект сбалансированный. Он отсечёт откровенных переклейщиков шильдиков, а все реальные производители смогут получить статус российского оборудования».
По его оценке, сложнее станет через три года, когда минимальный балл вырастет существенно. Это потребует масштабного поиска и внедрения российских комплектующих. Но трёхлетний разбег — вполне достаточный срок для решения задачи, считает эксперт.
Производители предлагают альтернативу
Анатолий Ковалев, глава ЗНТЦ — производителя отечественного литографа, критикует саму концепцию балльной системы:
«На наш взгляд, она не оптимальна. Наиболее рабочим подходом следует признать оценку по результатам успешно пройденной госкомиссии и разработанной в рамках ОКР рабочей конструкторской документации».
Ковалев предлагает ориентироваться на постановку базового технологического процесса на территории России плюс создание охраняемых результатов интеллектуальной деятельности, права на которые принадлежат Минпромторгу или российским организациям.
Государство вкладывает деньги
В ноябре 2025 года Минпромторг выделил почти 7 миллиардов рублей на освоение производства пяти типов установок для микроэлектроники. Российские аналоги должны заменить американское, европейское и японское оборудование.
Министерство активно публикует подобные задания с 2023 года, многие работы уже выполняются. План амбициозный: до 2032 года на отечественные заводы должны поступить 122 российские установки для производства микросхем.
Среди них:
- Литографы для переноса изображения на пластину;
- Установки контроля топологического рисунка фотошаблонов;
- Кластеры плазмохимического травления;
- Установки для выращивания кристаллов германия
Реальность против амбиций
Ситуация выглядит парадоксально. С одной стороны, государство вкладывает миллиарды в создание отечественного оборудования. С другой — вводит требования, которые большинство экспертов считают невыполнимыми в обозначенные сроки.
Получается замкнутый круг: чтобы считаться российским производителем, нужно использовать российские комплектующие. Но эти комплектующие ещё не производятся серийно, потому что производителям некому их поставлять — индустрии просто нет.
Три года на создание с нуля целых технологических цепочек — это не разбег, а спринт с барьерами. Особенно учитывая, что западные компании создавали аналогичные производства десятилетиями, имея доступ к глобальным рынкам, технологиям и кадрам.
Вопрос без ответа
Главная интрига: что произойдёт 1 января 2026 года? Производители магически обрастут российскими комплектующими? Требования смягчат в последний момент? Или отрасль получит отсрочку с формулировкой «в связи с объективными сложностями»?
Пока ясно одно: амбициозные планы по импортозамещению в микроэлектронике столкнулись с суровой реальностью отсутствия готовой производственной базы. И балльная система, вместо стимула развития, рискует превратиться в непреодолимый барьер для тех немногих компаний, которые реально пытаются что-то производить.
Время покажет, была ли это дорожная карта или карта минного поля для российской микроэлектроники.